- Enceintes cubiques à porte frontale, enceintes cylindriques
- Sas avec traitement du substrat (plasma, canon à ions, chauffage...)
- Mono ou multi substrats jusqu'à 6" standard
- Sources résistives (Joule), sources à canons à électrons, sources à induction
- Porte-substrats simples, chauffants, refroidis, tournants, oscillants, LN2
- Canon à ions pour décapage ou assistance au dépôt
- Machines semi-automatiques ou automatiques (ordinateur industriel)
Exemples de références applicatives non limitatives :
- Tous procédés de lift off
- Transistor HMET, PHMET
- Contacts ohmiques et Schottky sur GaN
- Guide d'ondes IR
- Barrières thermiques
- Matériaux magnétiques pour applications microondes
- Encapsulation de MEMS
- Circuit Josephson
