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Gravure

• Equipements de laboratoire pour développement de procédés
• Réacteurs de petites dimensions à porte frontale
• Réacteurs de taille moyenne cylindriques à ouverture par le dessus
• Réacteurs à sas
• Gaz chlorés, fluorés, bromés, ...
• Machines semi-automatiques, automatiques, pilotées par informatique



• Pompage

• Pompes sèches ou à palettes
• Pompes turbomoléculaires chimistes
• Régulation de pression



• Gaz

• Lignes de gaz avec débimètres massiques



• Détection de fin de gravure

• Interféromètre laser



• Polarisation

• 300 ou 600W (13.6MHz)
• Plasma pulsé
• Adaptation d'impédance automatique
• Mesure de tension d'autopolarisation