Gravure

- Equipements de laboratoire pour développement de procédés
- Réacteurs de petites dimensions à porte frontale
- Réacteurs de taille moyenne cylindriques à ouverture par le dessus
- Réacteurs à sas
- Gaz chlorés, fluorés, bromés, ...
- Machines semi-automatiques, automatiques, pilotées par informatique
Pompage
- Pompes sèches ou à palettes
- Pompes turbomoléculaires chimistes
- Régulation de pression
Gaz
- Lignes de gaz avec débimètres massiques
Détection de fin de gravure
- Interféromètre laser
Polarisation
- 300 ou 600W (13.6MHz)
- Plasma pulsé
- Adaptation d'impédance automatique
- Mesure de tension d'autopolarisation
