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Pulverisation

• Tous types de machines :

• Enceintes cylindriques, parallélépipédiques à porte frontale
• Enceintes standard: 300, 450, 600, 900 mm
• Sas de transfert simples ou à cassette
• Cathodes circulaires ou rectangulaires, DC, RF
• Clusters pour systèmes confocaux
• Pulvérisation réactive ou non
• Dépôts statiques, dynamiques, planétaires
• Températures de substrats jusqu'à 1000°C

• Références applicatives :

• Monocouches
• Multicouches
• Couches magnétiques
• Couches optiques