• 
• 
• 
• 
• 
• 
• 
• 
• 
• 

Usinage Ionique, RIBE, CAIBE

• Source ICP avec faisceau 14 cm ou 20 cm
• Densité de courant jusqu'à 4 mA/cm2
• Energie de 100 à 1000 eV

• Pompage automatique

• Pompes sèches ou à palettes
• Pompe turbomoléculaire conventionnelle ou à paliers magnétiques
• Pompe cryogénique

• Porte-échantillons

• Porte-substrat refroidi, planétaire, tiltant

• SAS de transfert manuel ou automatique

• Contrôleurs de gravure

• Interférométrie
• SIMS

• Références applicatives

• M RAM
• Usinage de matériaux de transition
• Micropointes