Thin film Evaporation

	Box coater with front door, cylindrical chamber
	Loadlock with substrate treatment (plasma, ion gun, heating...)
	Resistive (Joule), electron beam or inductive sources
	Basic, heating, cooling, rotating or oscillating sample holders
	Ion gun for sample milling or IAD
	Semi-automatic or automatic systems with industrial computer

Evaporation Systems
Pompage automatique :
  - Pompe à palettes, Pompe sèche
  - Pompe turbomoléculaire conventionnelle ou à paliers magnétiques
  - Pompe cryogénique
Porte-échantillons :
  - Dépôt statique,en rotation ou planétaire
  - Chauffage jusqu’à 1000°C en statique ou rotation
Contrôleurs et mesureurs d’épaisseur à quartz
Sources :
  - Sources Joules simples ou multiples
  - Canon à électrons mono et multicreusets
de 3 à 15 kw
  - Co-évaporation
Références applicatives:
  - IEMM et Thales: HMET, PHMET, "Ohmic Contact and Scottky on GaN"
  - Université de Montpellier: Guide d'onde en infra-rouge
  - CEA Grenoble et SNECMA: Barrière thermique (zirconia)
  - X Lim: Matériaux magnétiques pour application de micro-ondes MEMS
Encapsulation
  - Saclay, Yale, Eth, Strasbourg et Genève: Circuits sur Jonctions Jesephson
pour étudier la cohérence et le développement des bits quantum.