Délaquage
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Machines micro-ondes, downstream, pour
"stripping" de tous produits organiques (photoresist, polyamides...) |
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Réacteur tubulaire avec
électrodes externes polarisées RF |
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Machines RF pour traitement de surface. Exemples : MDS 150, MDS 130 |
Références:
- CEA
- Alcatel
- Sagem
- Thalès
- Phillips |
