Evaporation

	Enceintes cubiques à porte frontale, enceintes cylindriques
	Sas avec traitement du substrat (plasma, canon à ions, chauffage...)
	Sources résistives (Joule), sources à canons à électrons, sources à induction
	Porte-substrats simples, chauffants, refroidis, tournants, oscillants...
	Canon à ions pour décapage ou assistance au dépôt
	Machines semi-automatiques ou automatiques (ordinateur industriel)

Systèmes d'évaporation
Pompage automatique :
  - Pompe à palettes, Pompe sèche
  - Pompe turbomoléculaire conventionnelle ou à paliers magnétiques
  - Pompe cryogénique
Porte-échantillons :
  - Dépôt statique,en rotation ou planétaire
  - Chauffage jusqu’à 1000°C en statique ou rotation
Contrôleurs et mesureurs d’épaisseur à quartz
Sources :
  - Sources Joules simples ou multiples
  - Canon à électrons mono et multicreusets
de 3 à 15 kw
  - Co-évaporation
Références applicatives:
  - IEMM et Thales: HMET, PHMET, "Ohmic Contact and Scottky on GaN"
  - Université de Montpellier: Guide d'onde en infra-rouge
  - CEA Grenoble et SNECMA: Barrière thermique (zirconia)
  - X Lim: Matériaux magnétiques pour application de micro-ondes MEMS Encapsulation
  - Saclay, Yale, Eth, Strasbourg et Genève: Circuits sur Jonctions Jesephson pour
étudier la cohérence et le développement des bits quantum.