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Evaporation Pulvérisation P.E.C.V.D. Gravure Délaquage
Usinage Machines Spéciales Diamant Systèmes Machines production
Gravure plasma

 Equipements de laboratoires pour développement de procédés
 Réacteurs de petites dimensions à porte frontale
 Réacteurs de taille moyenne cylindriques à ouverture par le dessus
 Réacteurs à sas
 Gaz chlorés, fluorés, bromés, ...
 Machines semi-automatiques, automatiques, pilotées par informatique

Pompage
  - Pompes sèches ou à palettes
  - Pompes turbomoléculaires chimistes
  - Régulation de pression

Gaz
  - Lignes de gaz avec débimètres massiques

Détection de fin de gravure
  - Interféromètre laser

Polarisation
  - 300 ou 600W (13.6MHz)
  - Plasma pulsé
  - Adaptation d'impédance automatique
  - Mesure de tension d'autopolarisation
MG 200
MG 200
MG 300
MG 300