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Evaporation Pulvérisation P.E.C.V.D. Gravure Délaquage
Usinage Machines Spéciales Diamant Systèmes Machines production
Usinage Ionique

 Faisceaux circulaires jusqu'à 12" ou linéaires
 Source ICP 13.56MHz
 Pas de filaments
 RIBE, CAIBE, Usinage Ionique

Pompage automatique
  - Pompe sèche ou à palettes
  - Pompe turbomoléculaire conventionnelle ou à paliers magnétiques
  - Pompe cryogénique

Porte-échantillons
  - Porte-substrat refroidi, planétaire

Contrôleurs de gravure
  - Interférométrie
  - SIMS

Références applicatives
  - M RAM Labo Spintex
  - PTA Grenoble
MU400 Usineur ionique, RIBE, CAIBE