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PECVD

De la machine de laboratoire à la machine industrielle

• Couches tribologiques (DLC, ...)
• Dépôts de polymères
• Dépôts de silice froide
• Porte-substrats simples, chauffants, refroidis, tournants, oscillants, LN2
• Croissance de nanotubes simples ou multi parois par PECVD, CVD, filament chaud